盖世汽车讯 据外媒报道,德国弗劳恩霍夫光子微系统研究所(Fraunhofer IPMS)开发出光子微系统,可以使用可控的小镜子来调制光,从而产生独特的图像和结构。这些空间光调制器(SLM)是在半导体芯片上具有多达数百万个镜子的微镜阵列,可应用于半导体制造、显微镜和全息摄影等领域。
陶瓷封装的微镜阵列;512x320可单独寻址镜,像素尺寸为48μm。(图片来源:弗劳恩霍夫光子微系统研究所)
在实验室和1500平方米的洁净室中,该团队开发了一系列基于200 mm晶圆技术的特定用途空间光调制器。为了让每个微镜能够单独偏转,研究人员以高度集成的电子电路(ASIC)为基础来构建组件体系结构,再结合单片集成MEMS(微电子机械系统)技术,从而可以创建独特的微镜阵列。
此外,Fraunhofer IPMS还开发可以驱动该设备的电子器件和软件。为了促进技术应用,该研究所向客户提供评估工具包。除了微镜芯片本身,准备试用的设置还包括完整的电子控制器件(含软件在内)。
该Fraunhofer IPMS空间光调制器可用于深紫外微光刻、印刷电路板(PCB)制造、半导体检测和计量、自适应光学、天文学、全息和显微镜技术。该研究所已获得ISO 9001认证,从而验证其质量、技术和性能。
来源:盖世汽车
作者:Elisha
本文地址:https://www.d1ev.com/news/jishu/210600
以上内容转载自盖世汽车,目的在于传播更多信息,如有侵仅请联系admin#d1ev.com(#替换成@)删除,转载内容并不代表第一电动网(www.d1ev.com)立场。
文中图片源自互联网,如有侵权请联系admin#d1ev.com(#替换成@)删除。