近日，Substrate这家以X射线为光源的光刻技术初创企业宣布，谷歌DeepMind的AlphaEvolve编程智能体极大优化了其计算光刻技术堆栈。在短短一个月内，Substrate通过引入AlphaEvolve，实现了计算光刻工作负载运行速度提升680%、计算成本降低97%、内存用量降低94%的显著成效。AlphaEvolve的引入不仅大幅降低了计算光刻所需的分辨率，还使得工作负载适合在算力成本较低的谷歌TPU上运行。

Substrate团队利用AlphaEvolve自动化探索了数十万个潜在算法改进点，仅以一次光刻就实现了12nm特征尺寸的双向M1金属互联层，达到了HighNAEUV系统的水平。AI技术的引入使得Substrate能够提前掌握技术的弱点和改进方法，避免了大量反复的实际测试。Substrate认为，模型与芯片协同进化是计算智能的未来，而AlphaEvolve正是实现这一目标的关键。